在“頭發絲”上蓋“高樓”
啟東一企業研發拋光液助造“中國芯”

本網訊 （通訊員戴麗麗 陳藝文 范存娟 記者黃海）昨天，從意芯微電子材料（南通）有限公司傳出消息，公司自主研發的“TGV拋光液YCP-9200”正在競逐2024年度“IC風云榜”年度技術突破獎，目前該產品已實現批量銷售。

在半導體制造的精密世界里，拋光液如同一位幕后英雄，這把神奇的“打磨鑰匙”，能夠讓芯片表面變得平滑如鏡，從而增強芯片的可靠性和穩定性。“我們常說的14納米、7納米芯片，背后都離不開拋光液。”意芯微公司總經理張建拿出了一面經過拋光的“化妝鏡”，上面密密麻麻排列了數百塊芯片。

“集成電路產業被稱為‘頭發絲上’的產業，我們就相當于在頭發絲上蓋高樓大廈。”張建介紹，每一片芯片在生產過程中都會經歷數十道的化學機械拋光工序，只有“樓面”拋光足夠平坦齊整，“樓房”才能蓋得更高。

據了解，芯片拋光液在國際市場上長期被美國和日本的相關企業所壟斷，當前我國約80%的拋光液都依賴于進口。2022年意芯微落戶啟東，其研發人員占公司總人數比例超三成。2023年經過兩輪融資，意芯微獲得了知名半導體產業投資機構韋豪創芯和毅達資本的資金支持，用于半導體材料的研發和產業化。今年8月，又獲得南通平衡資本千萬級投資，加速布局晶圓拋光材料國產替代。目前，企業累計申請專利50余項，從拋光顆粒到最終產品，已實現了全鏈路100%國產化。

“國產拋光液不僅降低生產成本，還意味著更短的交付周期、更安全的供應條件，同時帶動下游產業鏈發展，市場十分廣闊。”張建說，即使是同一技術節點，不同客戶的集成技術不同，對拋光液的需求也不同。因此，意芯微把主要精力都放在研發產品和客戶端上，與客戶深度“綁定”，量身定制拋光液。

前段時間，意芯微拿到了華燦光電400多萬元的訂單，今年銷售額已超過1000萬元。企業和捷捷微電、吉萊電子等本地企業也達成了合作，在手客戶已超過100家，覆蓋硅片、碳化硅、分立器件、邏輯芯片、先進封裝等多個行業，預計明年的銷售額將達到4000多萬元。

“芯片制程技術不斷進步，平坦化的精度要求也不斷提高。只有不斷創新，才能讓‘中國芯’更強大。”張建介紹，目前，企業技術團隊正在向物聯網、5G芯片、人工智能等新興應用終端領域進發。